英特尔称新的阿斯麦光刻机已投入生产
英特尔公司周一称，来自阿斯麦的首批两台尖端光刻机已经在其工厂 “投入生产”。初步数据显示比之前的型号更可靠。这两台光刻机是阿斯麦的高数值孔径 (High-NA) 极紫外光刻机，是目前世界上最先进的光刻机，能够比之前的阿斯麦光刻机生产出更小、更快的计算芯片。去年英特尔成为了全球首家接收这些光刻机的芯片制造商。英特尔高级首席工程师史蒂夫·卡尔森表示，英特尔已利用阿斯麦的高数值孔径光刻机在一个季度内生产了三万片晶圆，这些晶圆可以产出数千颗计算芯片。在初步测试中，阿斯麦新光刻机的可靠性是此前型号的大约两倍。
—— 路透社
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